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? ? 硅化硅微粉是以碳化硅為原料,通過粉碎設備而制成的。但碳化硅在冶煉,粉碎的過程中,不可避免的會混入各種雜質,這些雜質在碳化硅微粉使用過程中,會對其所加工的產品質量,制造的半導體器件的性能有很大的影響很大,增加制品的不良品率,降低加工品的表面加工質量等。因此,在生產碳化硅微粉時一定要解決去除其中所含雜質的問題。
? ? 碳化硅微粉的的雜質主要包括碳,三氧化二鐵,三氧化二鋁,氧化鈣和氧化鎂以及二氧化硅等。這些物質在碳化硅微粉做不同的用途時,分別產生不同的影響,其中以三氧化二鐵為主。為了去除碳化硅微粉中的雜質,可在生產環節中采用加酸除雜質的方式,這種除雜質的方法成本低,除雜率高,深受碳化硅微粉廠家的喜愛。
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